Etude des propriétés acoustiques du germanium amorphe, cristallin et microcristallin

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Dans ce travail, nous nous sommes intéressés à l'étude des propriétés élastiques du germanium sous différentes formes structurales: amorphe (a-Ge), cristallin (c-Ge) et microcristallin (uc-Ge). Pour le germanium amorphe obtenus par différentes méthodes de préparation (HWCVD, évaporation et pulvérisation), les vitesses ainsi que les angles critiques d'excitations des ondes longitudinale transversal et de Rayleigh ont été déterminées. Ensuite, nous avons étudié l'effet de l'épaisseur de la couche de a-Ge déposée sur le Si<100>, les courbes de dispersion des différentes structures sont de type négatif. Pour le c-Ge, les effets de l'anisotropie sur les vitesses acoustiques, les angles critiques d'excitations de différents modes ont été mis en évidence. Pour le uc-Ge, aussi bien la période spatiale et la vitesse de Rayleigh que les angles ont été quantifiés. De plus nous avons complété ce travail par l'investigation de l'influence de l'épaisseur de la couche du c-Ge et uc-Gedéposée sur la silice et le silicium qui a montré une nette diminution de la période spatiale des signatures acoustiques (elle est de l'ordre de 19.34% pour la structure Ge<100>/SiO?). Ainsi, les vitesses subissent une dispersion de type négatif, présentant une décroissance de la valeur de la vitesse à partir de celle du substrat jusqu'à celle de la couche pour les épaisseurs, critiques, élevées. Au-delà de ces épaisseurs ont atteint une saturation des courbes à partir de laquelle on peut déterminer les vitesses de Rayleigh, pour chaque orientation cristallographique du Ge, ainsi pour chaque forme structurale de germanium