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Elaboration et caractérisation de couches minces de ZnO obtenues par pulvérisation cathodique radiofréquence pour des applications en photonique

Type doc. :

Thèses / mémoires

Langue :

Français

Année de soutenance:

2020
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Dans ce travail, des couches minces de ZnO ont été déposées à température ambiante par la technique de pulvérisation cathodique Rf sur des substrats en verre et en silice sur silicium (SiO2/Si(100)) pendant deux temps de dépôt (60 et 120 min).Les films minces de ZnO Obtenus ont ensuite été recuits à l'air pendant 60 min à différentes températures, allant de 300 à 500 ° C.



N° Bulletin Date / Année de parution Titre N° Spécial Sommaire
Cote Localisation Type de Support Type de Prêt Statut Date de Restitution Prévue Réservation
530 NAM TH C1 BIB-Centrale / Thèses interne disponible
Namoune, A. et al. (2020). Elaboration et caractérisation de couches minces de ZnO obtenues par pulvérisation cathodique radiofréquence pour des applications en photonique (Doctorat) . Annaba.