Elaboration et caractérisation des dépôts de Fe-Si et Fe-Si-N obtenus par co-pulvérisation cathodique magnétron

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Ce travail porte sur l’élaboration des couches minces binaires Fe-Si par co- pulvérisation cathodique magnétron de deux cibles en Fer pur et d’une cible en Silicium en mode neutre sous plasma d’Argon, et des couches minces ternaires Fe-Si-N par pulvérisation réactive sous plasma d’argon et Azote. La composition chimique et la structure des couches Fe-Si et Fe-Si-N ont été déterminées par système d'analyse de composition par dispersion en énergie des rayons X (E.D.X) et la diffraction de rayons X (DRX) . Le comportement à la corrosion de ces alliages a été étudié dans une solution de (H2O - 3,2 g/l NaCl) par le suivi de l’évolution du potentiel en circuit ouvert (OCP), le tracé des courbes de polarisation potentiodynamique et la spectroscopie d’impédance électrochimique (SIE). Les alliages Fe-Si présentent une meilleure résistance à la corrosion que les aciers ordinaire et la composition en Si n’influe que peut sur cette résistance à la corrosion. L’ajout de l’Azote à ces alliages n’améliore pas cette résistance à la corrosion de manière excessive mais ne la ruine pas pour autant.