Elaboration et caractérisation des couches minces inconel-azote obtenues par pulvérisation cathodique magnétron réactive sous plasma froid Ar-N2

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Des dépôts de M et M-N, où M est l'alliage d'Inconel 690 (de composition 57 at % N, 32 at% Cr et 9,5 at% Fe ).Ont été réalisés par pulvérisation cathodique magnétron sur des substrats en verre et/ou en acier sous plasma d'Ar pur ou réactif de mélange Ar - N2; L'influence du débit d'azote utilisé dans le mélange Ar-N2 sur la composition chimique et sur la microstructure a été étudiée. Les couches minces élaborés sur les substrats à la température ambiante et contenant jusqu'à 30at% en azote sont nanostructurés et ont une structure de solution solide sursaturés en azote c.f.c, notée YN. Les couches en M pur présent une raie (111) cfc intense, traduisant une texture cristallographique suivant cette direction alors que, les couches M-N elles, exhibent une texture cristallographique suivant la direction de la raie intense (100) cfc- L'effet de la température sur la microstructure des films M-N a été étudié en augmentant la température du substrat durant la période d'élaboration; en effet à 400°Cet plus (température du porte substrat), l'analyse des diffractogrammes des rayons X révèle une phase y magnétique avec une très faible concentration en azote. On a conclue que les couches sont constituées de deux phases: la phase y constituée de Fe, Cr, Ni et peu enrichie en azote, détectée par les rayons X, et, de fins précipités de CrN non détectés par rayon X.