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Elaboration et caracterisation de films minces de carbone (dlc) obtenus par MW ECR/PACVD a partir du melange C6H6/AR

Type doc. :

Thèses / mémoires

Langue :

Français

Année de soutenance:

2005
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Le diamond-like carbon (dlc) est un matériau de revêtement récemment développé. la structure du dlc est principalement amorphe sans un ordre à longue distance. la structure et les propriétés des films de dlc (entre le graphite et les structures de diamant) dépendent des conditions de croissance. de diverses techniques sont actuellement employées pour produire des revêtements de dlc sur divers matériaux. les propriétés peuvent évoluer dans un large intervalle, selon les composants du précurseur et les paramètres des processus employés. les films de dlc considérablement moins chers que ceux du diamant possèdent également la combinaison unique de propriétés exceptionnelles et souhaitables. nous présentons par une revue bibliographique, l'essentiel des travaux effectués sur les dépôts de dlc, les différents type de ce matériau, les techniques et mécanismes de sa préparation, sa structure, ses propriétés et ses applications. nous avons produis à partir du mélange gazeux céshe/ar par mw ecr pacvd un film mince de carbone amorphe sous sa forme dlc ayant d'excellentes propriétés lui permettant d'être un candidat idéal pour l'application mécaniques. dans le but d'optimiser les paramètres d'élaboration une série importante de dépôts a été effectuée en variant la tension d'auto polarisation, à plusieurs pressions, températures, temps et débits des gaz. les films de carbone réalisés sont composés essentiellement de carbone de liaison sp° et sp°. i! sont exempts d'oxygène, contaminés par l'argon et contiennent de l'hydrogène dont la teneur dépend fortement des conditions de dépôt. le recuit jusqu'à une température de 450°c a provoqué une diminution négligeable de l'hydrogène dans les films. cette composition permet de classer les revêtements obtenus parmi les films de carbone amorphe hydrogéné (dlc de type a-c:h). l'effet de l'argon sur la qualité des films est mis en évidence et constitue un résultat significatif pour ce travail. la combinaison des observations électroniques, optiques et des analyses eds, wds, spectroscopie raman, rugosité de la surface, diffractions des rayons x, dureté, scratch-hardness, coefficient de friction et contraintes superficielles a permis



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669 KHE TH C1 BIB-Centrale / Thèses interne disponible
Abdelkader, K. et al. (2005). Elaboration et caracterisation de films minces de carbone (dlc) obtenus par MW ECR/PACVD a partir du melange C6H6/AR (Doctorat) . Annaba.