Eaboration de films minces de TiO2 par pulvérisation cathodiqueradio fréquence
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La fabrication, par la technique innovante de la pulvérisation magnétron, de films minces de TiO2 de haute qualité est un défi mondial grandissant. Pour réussir ce challenge et préparer des films minces avec d'excellentes propriétés, d'une façon reproductible, il est primordial d'optimiser et de mieux contrôler les conditions de dépôt et les paramètres technologiques qui affectent considérablement les caractéristiques de base des films déposés. Dans ce contexte, la présente thèse traite deux aspects principaux de la recherche : préparation de films minces optimisés de TiO2 et leurs caractérisations pour de nouvelles applications potentielles. Ainsi, après la préparation par pulvérisation magnétron RF de films minces de TiO2 sur des substrats en verre, les effets de la température du substrat ainsi que de la température du recuit sur leurs caractéristiques ont été analysés et quantifiés : structure, cristallinité, morphologie, topographie et propriétés optiques
| N° Bulletin | Date / Année de parution | Titre N° Spécial | Sommaire |
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| Cote | Localisation | Type de Support | Type de Prêt | Statut | Date de Restitution Prévue | Réservation |
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| 530 DOG TH C1 | BIB-Centrale / Thèses | interne | disponible |