Simulation des trajectoires des élections rétrodiffuses par la méthode de Monte Carlo

Voir Plus Voir Moins

Afficher le Résumé

En microscopie électronique à balayage (MEB), le contraste de matériau et le contraste topographique des électrons rétrodiffusés dépendent notablement de l'angle d'incidence. Dans le premier chapitre nous avons parlé sur la technique de la microscopie électronique à balayage. Pour guider l'opérateur dans un choix des conditions expérimentales satisfaisantes. Pour préciser ces conditions expérimentales, Nous avons choisi de simuler les trajectoires électroniques des électrons rétrodiffusés dans les matériaux d'étude en faisant varier les paramètres ajustables. Nos simulations sont faites en utilisant la méthode de Monte Carlo et en supposant un échantillon amorphe bombardé par un faisceau ponctuel d'électrons L'interaction électron-matière est décrite dans le deuxième chapitre. Nous avons utilisé des sections efficaces élastiques calculées par la méthode du modèle de Rutherford. Nous décrivons l'interaction in élastique en utilisant l'approximation des pertes continues de Bethe. La technique de Monte Carlo est aussi décrite dans le troisième chapitre. Dans le dernier chapitre, nous avons présenté les résultats de la simulation et discuté en détail les influences des différents paramètres sur les taux de rétrodiffusion d'un échantillon massif. Les caractéristiques les plus importantes (par exemple: contraste en l, résolution spatiale, résolution latérale, etc.) sont aussi discutées.