Elaboration et caractérisation de matériaux en couches minces pour application microélectronique et microsystème.

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Les dispositifs acoustiques sont des dispositifs qui utilisent les propriétés de la propagation des ondes acoustiques dans une galnme de fréquence allant des mégaHertz à quelques gigaHertz. ils sont divisés en deux grandes catégories: dispositifs acoustiques pour le traitement du signal et capteurs acoustiques. La réalisation de composants à ondes acoustiques nécessite l'emploi de matériaux dits piézoclectt"iques. Grâce à ses propriétés, le nitt'ure d'Aluminium en couche mince est dcvcnu un bon calldiliat pour la réalisation de dispositifs à ondes acoustiques. Dans un premier temps, une optimisation liu procélié a permis de synthétiser des fIlms d'AIN ayallt différentes orientations cristallographiques et notamment l'orientation préférentielle (0002), Di Uërentes caractérisations Diffraction à rayons X (DRX), microscopie électronique à balayage (MI?B) et spectrométrie infi'a rouge (FTIR) ont été efièctués. Une étuùe structurale fine par microscopie électronique à trallsmission à haute résolution (rlRTr~M) a permis de montrer trois zones ( amoq)he, polycristalline et quasi-monocristalline ) Enfin, atIn de prévoir la direction privilégiée de croissance des films d'AIN et leur meilleur dureté on a fait appel à la méthode des plans d'expérience en utilisallt le logiciel (Nemrodw).